发明名称 |
感光性树脂组成物、阻剂层合体及该等之硬化物;PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, MULTI-LAYER BODY USING THE RESIN COMPOSITION AND CURED PRODUCT THEREOF |
摘要 |
本发明之目的为提供藉由光微影术,可形成垂直之侧壁形状且具有微细的解像度、低应力、耐湿热性之影像的感光性环氧树脂组成物、及/或其阻剂层合体、以及该等之硬化物。本发明系含有(A)环氧树脂、(B)特定构造之多元醇化合物、(C)光阳离子聚合起始剂、(D)含有环氧基之矽烷化合物、及(E)特定构造之反应性环氧单体的感光性树脂组成物,该(A)环氧树脂,系含有藉由下述式(1);表示之酚衍生物、与表卤代醇之反应,而得到之环氧树脂(a)、及下述式(2);表示之环氧树脂(b)。 |
申请公布号 |
TW201430042 |
申请公布日期 |
2014.08.01 |
申请号 |
TW102142468 |
申请日期 |
2013.11.21 |
申请人 |
日本化药股份有限公司 |
发明人 |
今泉尚子;稲垣真也;本田那央 |
分类号 |
C08L63/00(2006.01);C08G59/20(2006.01);C08K5/053(2006.01);C08K5/5435(2006.01);C08F2/50(2006.01);B32B27/06(2006.01);G03F7/075(2006.01);H01L21/312(2006.01);H01L23/28(2006.01) |
主分类号 |
C08L63/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>林志刚</name> |
主权项 |
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地址 |
NIPPON KAYAKU KABUSHIKI KAISHA 日本 |