成膜装置、以及真空腔室之开闭机构

摘要

本发明提供一种能够减少动作所需之能量之成膜装置及真空腔室之开闭机构。在使阀体(9)从第2位置(P2)向第3位置(P3)移动时，第1缸体(22)动作，在使阀体(9)从第3位置(P3)向第1位置(P1)移动并经由阀体(9)按压密封构件(11)时，第2缸体(23)动作。第1缸体(22)具有移动阀体(9)之功能，因此需要较长的行程，但不具有按压封闭构件(11)之功能，因此无需较大的缸径。另一方面，第2缸体(23)具有按压封闭构件(11)之功能，因此需要较大的缸径，但不具有移动阀体(9)之功能，因此无需较长的行程。因此，能够成为无需藉由与按压封闭构件(11)时相同的力量来使阀体(9)移动亦可的构造。