发明名称 Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung von Gasgemischen sowie Massenspektrometer hierzu
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gasgemisches (2), umfassend folgende Verfahrensschritte: Paralleles oder serielles Ionisieren des zu untersuchenden Gasgemisches (2) durch Aktivieren von mindestens zwei mit unterschiedlichen Ionisierungsmethoden arbeitenden Ionisierungseinrichtungen (9a, 9b, 9c) und/oder Ionisieren des Gasgemisches (2) in einem Detektor (10), dem das Gasgemisch (2) und Ionen und/oder metastabile Teilchen (29) eines Ionisierungsgases (30) zugeführt werden, die von einer Ionisierungseinrichtung (9) erzeugt werden, sowie Detektieren des ionisierten Gasgemisches (2) im Detektor (10) zu dessen massenspektrometrischer Untersuchung. Die Erfindung betrifft auch ein Massenspektrometer (21) zur massenspektrometrischen Untersuchung von Gasgemischen (2), umfassend: eine Ionisierungs-Einheit (22) zur Ionisierung des Gasgemisches (2) und einen Detektor (10) zur Detektion des ionisierten Gasgemisches (2). Die Ionisierungs-Einheit (22) umfasst mindestens zwei parallel oder seriell angeordnete Ionisierungseinrichtungen (9a, 9b, 9c) zur Ionisierung des Gasgemisches (2) mittels unterschiedlicher Ionisierungsmethoden, wobei die Ionisierungseinrichtungen (9a, 9b, 9c) wahlweise einzeln oder gemeinsam aktivierbar sind und/oder die Ionisierungs-Einheit (22) weist eine Ionisierungseinrichtung (9) auf, die ausgebildet ist, dem Detektor (10) Ionen und/oder metastabile Teilchen (29) eines Ionisierungsgases (30) zuzuführen, um das Gasgemisch (2) im Detektor (10) zu ionisieren.
申请公布号 DE102013201499(A1) 申请公布日期 2014.07.31
申请号 DE201310201499 申请日期 2013.01.30
申请人 CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH;CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 CHUNG, HIN YIU ANTHONY;ALIMAN, MICHEL;FEDOSENKO, GENNADY;RANCK, ALBRECHT
分类号 G01N27/62;H01J49/26 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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