磁性装置和OLED蒸镀装置

摘要

本发明提供了一种磁性装置和OLED蒸镀装置。所述磁性装置，用于在OLED蒸镀装置中吸附金属掩膜，包括：金属板；包括多个电磁铁的电磁铁阵列，每一所述电磁铁插置于所述金属板上；每一所述电磁铁的两磁极分别位于所述金属板的两侧；用于提供电流的供电模块；控制模块，用于在进行OLED蒸镀过程中吸附金属掩膜时，通过向所述供电模块发送第一控制信号，以控制所述供电模块向所述多个电磁铁中的全部或部分加入直流电流，并控制该直流电流的方向和大小。本发明可以在OLED蒸镀时改变用于吸附金属掩膜的磁场强度和磁极排布。

主权项

一种磁性装置，用于在OLED蒸镀装置中吸附金属掩膜，其特征在于，包括：金属板；包括多个电磁铁的电磁铁阵列，每一所述电磁铁插置于所述金属板上；每一所述电磁铁的两磁极分别位于所述金属板的两侧；用于提供电流的供电模块；控制模块，用于在进行OLED蒸镀过程中吸附金属掩膜时，通过向所述供电模块发送第一控制信号，以控制所述供电模块向所述多个电磁铁中的全部或部分加入直流电流，并控制该直流电流的方向和大小。