用于化学气相沉积的等离子炬

摘要

一种用于化学气相沉积的等离子炬，包括上部的阴极、位于阴极正下部的阳极、同心套装在阴极外部的圆筒形辅助电极，辅助电极至少一个，阴极和辅助电极之间设有隔离密封环，相邻的辅助电极之间设有隔离密封环，最外层辅助电极外部套装有磁场线包，阳极为环形的中空管，并连接有两个进出水导管。该炬能有效的防止电弧在阴极和各辅助电极内部引燃或回缩到各电极之间内部放电，从而避免烧坏各极间隔离的绝缘材料。可以根据需要方便的更换不同口径的阳极，而不需要更换整个炬。还可以调节阳极到阴极之间的垂直距离，以便优化等离子体射流，获得最佳的沉积效果。

主权项

一种用于化学气相沉积的等离子炬，包括上部的阴极、位于阴极正下部的阳极、同心套装在阴极外部的圆筒形辅助电极，其特征是：所述的辅助电极至少一个，阴极和辅助电极之间设有隔离密封环，相邻的辅助电极之间设有隔离密封环，最外层辅助电极外部套装有磁场线包，所述的阳极为环形的中空管，并连接有进出水导管。