线性调频双光束激光外差测量玻璃厚度的装置及方法

摘要

线性调频双光束激光外差测量玻璃厚度的装置及方法，属于精密玻璃厚度测量技术领域。解决了现有玻璃厚度测量方法仍然存在测量精度差的问题。本发明采用调频激光器发射激光，通过一号反射镜和二号反射镜发射后发射至平板玻璃，再经会聚透镜汇聚到光电探测器的光感面上，经光电探测器转换后的电信号经滤波器、前置放大器和A/D转换器后发送至数字信号处理器，经数字信号处理器的处理后获得玻璃厚度。本发明适用于测量玻璃厚度。

主权项

线性调频双光束激光外差测量玻璃厚度的装置，其特征在于，该装置包括数字信号处理器(1)、A/D转换器(2)、前置放大器(3)、滤波器(4)、光电探测器(5)、会聚透镜(6)、平板玻璃(7)、一号反射镜(8)、二号反射镜(9)和调频激光器(10)； 调频激光器(10)发射的激光经二号反射镜(9)反射后入射至一号反射镜(8)，经一号反射镜(8)反射后的光束入射至平面玻璃(7)；该入射光经平板玻璃(7)的前表面与平板玻璃(7)的后表面多次反射后获得多束反射光，该多束反射光经平板玻璃(7)透射之后经会聚透镜(6)汇聚至光电探测器(6)的光敏面上； 经光电探测器(5)进行光电转换后的电流信号输出端连接滤波器(4)的信号输入端，滤波器(4)的滤波后信号输出端连接前置放大器(3)的信号输入端，前置放大器(3)的放大信号输出端连接A/D转换器(2)的模拟信号输入端，A/D转换器(2)的数字信号输出端连接数字信号处理器(1)的信号输入端。