多层膜反射镜、曝光装置、元件制造方法以及多层膜反射镜的制造方法;MULTILAYER-FILM REFLECTIVE MIRROR, EXPOSURE DEVICE, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND MANUFACTURING METHOD FOR A MULTILAYER-FILM REFLECTIVE MIRROR

摘要

提供一种多层膜反射镜，用在曝光装置的光学系统之凹或凸面的多层膜反射镜。多层膜反射镜包括基材以及形成于基材上之多层膜。多层膜包括配置在可反射极端紫外光之第1区域的第一反射镜区域及第2区域的第二反射镜区域，且包含第1和第2层的层对以第1周期长来层合的第1组；配置于第一反射镜区域，且上述层对是以异于第1周期长的第2周期长来层合的第2组；及配置于第二反射镜区域，且上述层对是以与第1周期长相同周期长来层合的第3组。入射到第一与第二反射镜区域的光，在第一与第二反射镜区域进行反射，以补正光学系统的波面像差。