测试结构

摘要

本实用新型提出了一种测试结构，包括至少一个PMOS和NMOS，PMOS和NMOS紧靠成对排列，PMOS和NMOS均设有源极、漏极、栅极和有源区。测试结构包括紧贴成对排列的NMOS和PMOS，通过对NMOS和PMOS的检测，能够检测出NMOS和PMOS两者之间的相互影响，全面的监测NMOS和PMOS的性能，有效的提高检测的准确性。

主权项

一种测试结构，其特征在于，所述结构包括： 至少一个PMOS和NMOS，所述PMOS和NMOS紧靠成对排列，所述PMOS和NMOS均设有源极、漏极、栅极和有源区；所述测试结构还包括多个通孔连线和多个测试盘，所述通孔连线分别与所述栅极、源极和漏极连接，所述测试盘通过所述通孔连线分别与所述栅极、源极和漏极相连。