晶硅片切割砂浆的固含量检测方法

摘要

本发明公开了一种晶硅片切割砂浆的固含量检测方法，旨在解决现有的检测方法所需时间长、检测结果不准确的技术问题。它包括下列步骤：收处理的晶硅片切割砂浆搅拌分散均匀，取样并称重，其质量记为M1；将所取砂浆试样经抽滤器进行多次抽滤，收集各次所得的滤上料；采用真空干燥或惰性气体条件下干燥的方式，将所得的滤上料进行干燥处理，得到的砂浆固体质量记为M2；计算得出晶硅片切割砂浆的固含量Ｍ。通过本发明所述方法，能够避免砂浆中的硅粉等固体颗粒发生氧化增重带来的固含量测定偏差，提高了晶硅片切割砂浆固含量的检测准确性，并大幅缩短了检测所需时间，提高了检测效率。

主权项

一种晶硅片切割砂浆的固含量检测方法，其特征在于，包括下列步骤：（1）搅拌分散：将待回收处理的晶硅片切割砂浆搅拌0.5～2小时，得到搅拌分散均匀的砂浆，在砂浆中心位置取样并称重，该试样的质量记为M1；（2）抽滤：将步骤（1）所取砂浆试样经抽滤器依次选用孔径为Ф10μm、Ф5μm和Ф1μm的滤膜进行三次抽滤，使该砂浆中的细小固体颗粒被滤膜滤出，收集各次所得的滤上料；（3）干燥：采用真空干燥或惰性气体条件下干燥的方式，将步骤（2）所得的滤上料进行干燥处理，得到的砂浆固体质量记为M2；（4）计算：根据公式Ｍ＝×100%，计算得出晶硅片切割砂浆的固含量Ｍ。