| 发明名称 |
混合整合构件;HYBRID INTEGRATED COMPONENT |
| 摘要 |
一种包括至少一MEMS元件(10)以及至少一由半导体材料构成的罩帽(20)的构件(100)，其使得该罩帽(20)除具有将空腔封闭以及为该微机械结构提供保护的机械功能外，还能为该罩帽(20)配置电性功能。此种构件(100)的MEMS元件(10)的微机械结构布置于一载体与该罩帽(20)之间的空腔内且包括至少一结构元件(11)，该结构元件在该空腔内可自该元件平面发生偏转。依此，该罩帽(20)包括至少一在该罩帽(20)的整个厚度上延伸的区段(21，22)，该区段与邻接之半导体材料绝缘，使得该区段可以与该罩帽(20)的其他区段无关的方式受到电接触。 |
| 申请公布号 |
TW201425206 |
申请公布日期 |
2014.07.01 |
| 申请号 |
TW102138180 |
申请日期 |
2013.10.23 |
| 申请人 |
罗伯特博斯奇股份有限公司 |
发明人 |
克拉森 约翰尼斯;法兰克 阿克瑟;费雪 法兰克;福雷 颜斯;维伯 赫利贝尔特;伟那 派克;麦瑟 丹尼尔 克里斯多福;哈塔斯 米尔科 |
| 分类号 |
B81B7/02(2006.01);G01P15/00(2006.01) |
主分类号 |
B81B7/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>阎启泰</name><name>林景郁</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
ROBERT BOSCH GMBH 德国 |
