发明名称 |
感光性树脂组成物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷配线板的制造方法;PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE ELEMENT, METHOD OF FORMING RESIST PATTERN, AND METHOD OF PRODUCING PRINTED WIRING BOARD |
摘要 |
本发明提供一种感光性树脂组成物,其含有:黏合剂聚合物,其具有源自(甲基)丙烯酸的结构单元、源自苯乙烯或α-甲基苯乙烯的结构单元及源自(甲基)丙烯酸苄酯的结构单元;光聚合性化合物,其包含第一双酚型二(甲基)丙烯酸酯,该第一双酚型二(甲基)丙烯酸酯具有伸乙氧基及伸丙氧基,上述伸乙氧基的结构单元数为1~20,上述伸丙氧基的结构单元数为2~7,上述伸乙氧基及上述伸丙氧基的总结构单元数超过10;以及光聚合起始剂。 |
申请公布号 |
TW201426185 |
申请公布日期 |
2014.07.01 |
申请号 |
TW102141915 |
申请日期 |
2013.11.18 |
申请人 |
日立化成股份有限公司 |
发明人 |
冈出翔太;宫坂昌宏;村松有纪子 |
分类号 |
G03F7/033(2006.01);G03F7/20(2006.01);H05K3/28(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/033(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>詹铭文</name><name>叶璟宗</name> |
主权项 |
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地址 |
HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. 日本 |