发明名称 |
一种设有过载传感器的晶片机械手 |
摘要 |
本发明公开了一种设有过载传感器的晶片机械手,包含:驱动马达,升降台,设置在升降台上的转动台,设置在转动台上的抓取手,以及设置在转动台上并与抓取手的后端固定连接的L型传动臂,该传动臂与抓取手连接的部分处于抓取手的延长线上,还包含设置在转动台上的:传感组件,其设置在L型传动臂的一侧,该传感组件位于抓取手的延长线上,其输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口;支架,所述的L型传动臂与抓取手垂直的部分设置在支架上,当转动台转动时,L型传动臂带动抓取手转动时,L型传动臂在与抓取手垂直方向上沿支架滑动。本发明能够防止晶片和机械手的损坏,大大降低了故障率,提高了生产效率,具有显著的经济效益。 |
申请公布号 |
CN103887220A |
申请公布日期 |
2014.06.25 |
申请号 |
CN201210557506.3 |
申请日期 |
2012.12.20 |
申请人 |
上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
陈滨;龚小春;夏金伟;姜北 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 |
代理人 |
张静洁;徐雯琼 |
主权项 |
一种设有过载传感器的晶片机械手,包含:驱动马达,升降台(4),设置在升降台(4)上的转动台(5),设置在转动台(5)上的抓取手(1),以及设置在转动台(5)上并与抓取手(1)的后端固定连接的L型传动臂(2),该L型传动臂(2)与抓取手(1)连接的部分处于抓取手(1)的延长线上,其特征在于,还包含设置在转动台(5)上的:传感组件(3),所述的传感组件(3)设置在L型传动臂(2)的一侧,该传感组件(3)位于抓取手(1)的延长线上,所述的传感组件(3)的输出端口连接到外部的晶片机械手控制器的停止端口;支架(6),所述的L型传动臂(2)与抓取手(1)垂直的部分设置在支架(6)上,当转动台(5)转动时,L型传动臂(2)带动抓取手(1)转动时,L型传动臂(2)在与抓取手(1)垂直方向上沿支架(6)滑动。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 |