用于涂覆平面基板的装置

摘要

本实用新型涉及一种用来涂覆平面基板（3）的装置。该装置包括：形成反应空间（4）的沉积室（2）；至少一个雾化器（16），所述至少一个雾化器布置到沉积室（2）中用于将至少一种液体前体雾化成液滴（20）；以及闸门（30，32），平面基板（3）可穿过闸门而被装载到反应空间（4）中以及从反应空间（4）移出。闸门（30，32）包括具有第一长度（A）的细长闸门开口（12），用来使平面基板（3）穿过闸门（30，32）而被装载到反应空间（4）中和/或将平面基板从反应空间卸载。闸门开口（12）横截面的形状和尺寸基本上对应于平面基板（3）横截面的形状和尺寸，以使得当基板（3）行进穿过闸门开口（12）时平面基板（3）基本上关闭闸门开口（12）。

主权项

一种用于涂覆平面基板的装置，所述装置包括： ‑沉积室（2），所述沉积室布置用于形成反应空间（4）； ‑至少一个雾化器（16），所述至少一个雾化器布置在所述沉积室（2）中，用来将在涂覆平面基板（3）时所使用的至少一种液体前体雾化成液滴（20），以及用来朝向反应空间（4）中的平面基板（3）的表面引导所述液滴（20）； ‑闸门，所述平面基板穿过所述闸门从沉积室（2）的外部（5）被引入到所述反应空间（4）中和/或从所述反应空间（4）移出并且移到所述沉积室（2）的外部（5）， 其特征在于，闸门包括具有第一长度（A）的闸门开口（12），用来将所述平面基板（3）穿过所述闸门引入到所述反应空间（4）中和/或从所述反应空间（4）移出，所述闸门开口（12）的横截面的形状和尺寸基本上对应于所述平面基板（3）的横截面的形状和尺寸，以使得当所述平面基板（3）穿过所述闸门开口（12）时所述平面基板（3）基本上关闭所述闸门开口（12）。