一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台

摘要

本实用新型提供了一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，：包括箱体和支撑板，所述箱体底部设置有恒温加热棒，所述箱体中部每个侧面上均设置有支撑片，所述支撑片用于在支撑板放入箱体内时，支撑所述支撑板，所述支撑板上具有多个通孔。本实用新型具有不会影响后续脱胶，脱胶温度均匀的优点。解决现有恒温脱胶台胶水和碎屑堆积以及脱胶温度不均的问题。

主权项

一种单晶硅棒切割后的恒温水洗脱胶台，其特征在于：包括箱体和支撑板，所述箱体底部设置有恒温加热棒，所述箱体中部每个侧面上均设置有支撑片，所述支撑片用于在支撑板放入箱体内时，支撑所述支撑板，所述支撑板上具有多个通孔。