| 发明名称 | 互连结构及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种互连结构及其制造方法。所述互连结构的制造方法包括：在基底上形成多孔介质层；对所述多孔介质层进行表面处理，以形成隔离层；在所述隔离层上形成硬掩模。本发明还提供一种如所述的互连结构的制造方法所形成的互连结构。本发明能减少互连结构及其制造方法中的鼓包缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN103871961A | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201210550003.3 | 申请日期 | 2012.12.17 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 周鸣 |
| 分类号 | H01L21/768(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/768(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种互连结构的制造方法，其特征在于，包括：在基底上形成多孔介质层；对所述多孔介质层进行表面处理，以形成隔离层；在所述隔离层上形成硬掩模。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||