| 发明名称 | 烷氧基甲硅烷基胺化合物及其应用 | ||
| 摘要 | 本发明描述了具有下述式A或式B的烷氧基甲硅烷基胺前体：<img file="DSA0000099223890000011.GIF" wi="1744" he="559" />其中R<sup>1</sup>和R<sup>4</sup>独立地选自直链或支链C<sub>1</sub>至C<sub>10</sub>烷基、C<sub>3</sub>至C<sub>12</sub>烯基、C<sub>3</sub>至C<sub>12</sub>炔基、C<sub>4</sub>至C<sub>10</sub>环烷基和C<sub>6</sub>至C<sub>10</sub>芳基，并且其中R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>、R<sup>5</sup>和R<sup>6</sup>独立地选自氢、直链或支链C<sub>1</sub>至C<sub>10</sub>烷基、C<sub>2</sub>至C<sub>12</sub>烯基、C<sub>2</sub>至C<sub>12</sub>炔基、C<sub>4</sub>至C<sub>10</sub>环烷基、C<sub>6</sub>至C<sub>10</sub>芳基以及直链或支链C<sub>1</sub>至C<sub>10</sub>烷氧基。本文还描述了使用至少一种具有本文所述的式A和／或B的前体的沉积工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN103864837A | 申请公布日期 | 2014.06.18 |
| 申请号 | CN201310698533.7 | 申请日期 | 2013.12.11 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | 萧满超;R·M·皮尔斯泰恩;R·霍;D·P·斯彭斯;雷新建 |
| 分类号 | C07F7/18(2006.01)I;C07F7/10(2006.01)I | 主分类号 | C07F7/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 吴亦华 |
| 主权项 | 1.包含至少一种具有下述式A和／或式B的化合物的前体：<img file="FSA0000099223910000011.GIF" wi="1744" he="565" />其中R<sup>1</sup>和R<sup>4</sup>各自独立地选自直链或支链C<sub>1</sub>至C<sub>10</sub>烷基、C<sub>3</sub>至C<sub>12</sub>烯基、C<sub>3</sub>至C<sub>12</sub>炔基、C<sub>4</sub>至C<sub>10</sub>环烷基和C<sub>6</sub>至C<sub>10</sub>芳基，并且其中R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>、R<sup>5</sup>和R<sup>6</sup>各自独立地选自氢、直链或支链C<sub>1</sub>至C<sub>10</sub>烷基、C<sub>2</sub>至C<sub>12</sub>烯基、C<sub>2</sub>至C<sub>12</sub>炔基、C<sub>4</sub>至C<sub>10</sub>环烷基、C<sub>6</sub>至C<sub>10</sub>芳基以及直链或支链C<sub>1</sub>至C<sub>10</sub>烷氧基。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||