微机电Z轴面外止挡件

摘要

本发明涉及微机电结构，并且更具体地讲涉及采用控制成保护结构免受机械冲撞以及静电干扰影响的z轴面外止挡件的系统、装置和方法。z轴面外止挡件包括冲撞止挡件和平衡止挡件。冲撞止挡件在用于封装结构的帽基板上布置。这些冲撞止挡件进一步与结构中的检验质量块对正，从而减少机械冲撞的冲击。平衡止挡件在检验质量块下方布置，并且电连接至平衡电压，从而由每个冲撞止挡件所造成的静电力和力矩由对应的平衡止挡件所产生的力和力矩平衡。该结构更不易受机械冲撞影响，并且表现出可以由冲撞止挡件造成的静电干扰引起的微不足道的偏差。

主权项

一种微机电结构，其包括：传感器基板；检验质量块，其经由至少一个弹性元件在所述传感器基板上方悬置，所述检验质量块响应于所述结构的加速度而移位和倾斜；帽基板，其与所述传感器基板联接，所述帽基板粘接至所述传感器基板以形成一封闭所述检验质量块的容腔，所述帽基板进一步包括多个冲撞止挡件，所述冲撞止挡件在所述检验质量块上方布置，以在冲撞载荷出现的情况下在特定的位置将所述检验质量块推回；以及多个在所述检验质量块下方联接的平衡止挡件，所述多个平衡止挡件中的每个平衡止挡件根据所述多个冲撞止挡件中的一个冲撞止挡件的位置被布置并且通过平衡电压被电驱动，所述多个平衡止挡件中的每个平衡止挡件在所述检验质量块上产生第一静电力和力矩，以平衡由对应的冲撞止挡件产生的第二力和力矩。