| 发明名称 |
DEVICE FOR DECREASING DEFLECTION OF OUTER WALL OF VACUUM VESSEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05195206(A) |
申请公布日期 |
1993.08.03 |
| 申请号 |
JP19920254697 |
申请日期 |
1992.09.24 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG |
发明人 |
ANTOON PAFURAKOBUITSUCHIYU;BERUNHARUTO SHIEENHERU |
| 分类号 |
C23C14/22;B01J3/00;C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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