具有针对热力学应力低敏感度的微机电结构

摘要

本发明涉及微机电结构，并且更具体地涉及通过采用并调整用于将可移动的检验质量块连接至锚固部的弹性元件来补偿热力学应力影响的系统、装置和方法。检验质量块通过相对于可移动的质量块旋转轴线平移和倾斜而对加速度作出响应。热力学应力在制造、包装和组装的过程中或者在结构的整个寿命内在结构中累积。应力造成了检验质量块上的位移。多个弹性元件连接成支承检验质量块。这些弹性元件的几何形状和结构被调整以减小由热力学应力造成的位移。

主权项

一种微机电结构，其包括：基材；在所述基材上方悬置的检验质量块，所述检验质量块通过相对于位于其所在平面中的可移动的质量块旋转轴线平移和倾斜而对加速度作出响应；至少一个在所述基材上固定的锚固部，所述至少一个锚固部被连接成支承所述检验质量块；以及多个弹性元件，所述弹性元件在所述至少一个锚固部与所述检验质量块之间连接，所述多个弹性元件的几何形状和结构被调整成减少由热力学应力导致的检验质量块的位移。