用于微机电系统（MEMS）设备的弹簧

摘要

一种用于微机电系统（MEMS）设备的弹簧。MEMS设备（20）包括衬底（28）和被配置为在基本平行于所述衬底的（28）的表面（50）的平面（24）中经受振荡运动的驱动质量块（30）。传感器（20）还包括驱动弹簧（56），其中每一个都包括了主横梁（70）和耦合于所述主横梁（70）的一端（74）的弯曲横梁（72）。所述弯曲横梁（72）被锚定到所述驱动质量块（30）或所述衬底（28）。所述弯曲横梁（72）展示小于所述主横梁（70）的宽度（88）的宽度（90）。响应于振荡驱动运动，所述弯曲横梁（72）弯曲使得所述主横梁（70）在所述平面（24）中围绕枢转点（96）旋转。因此，所述驱动质量块（30）的平面外运动被减少，从而抑制了正交误差。

主权项

一种微机电系统（MEMS）设备，包括：具有表面的衬底;被配置为在基本平行于所述表面的平面中经受振荡运动的驱动质量块；以及驱动弹簧，每一个所述驱动弹簧包括第一横梁和耦合于所述第一横梁的一端的第二横梁，所述第二横梁被锚定到所述驱动质量块和所述衬底中的一个，所述第一横梁展示基本平行于所述平面的第一宽度，以及所述第二横梁展示基本平行于所述平面的第二宽度，所述第二宽度小于所述第一宽度。