一种用于硅基薄膜太阳能电池的激光刻划装置

摘要

本实用新型涉及一种用于刻划硅基薄膜太阳能电池的装置，属于太阳能电池设备技术领域。为解决现有激光刻划设备不能同时兼顾成本和刻划复杂图形的技术问题，设计一种用于硅基薄膜太阳能电池的激光刻划装置，主要由支架及光学系统、除尘机构构成，其特征在于所述光学系统包括激光器、扩束镜、分光镜、反射镜、振镜和聚焦镜，扩束镜连接激光器和分光镜，形成多束激光，且每束激光的传播方向上均依次设有振镜及聚光镜。本实用新型突破了传统具有分光飞行光学系统或偏振扫描光学系统的激光刻划装置的限制，刻划效率高，设备成本低。

主权项

一种用于硅基薄膜太阳能电池的激光刻划装置，主要由支架及光学系统、除尘机构构成，其特征在于所述光学系统包括激光器、扩束镜、分光镜、反射镜、振镜和聚焦镜，扩束镜连接激光器和分光镜，形成多束激光，且每束激光的传播方向上均依次设有振镜及聚光镜。