清洗掩模

摘要

本发明涉及一种清洗掩模的设备和方法。该方法包括将掩模置于一清洗溶液内。该方法也包括以一预定搅动水准将清洗溶液搅动一预定时间段。

主权项

一种清洗有多种金属沉积于其上的钼掩模的方法，其特征在于：提供晶圆支撑件，其中所述晶圆支撑件包括突块、闩部、铰链部和沟槽，所述沟槽适于使掩模包覆可匹配与牢固以防止该掩模弯曲变形，其中所述沟槽沿着所述晶圆支撑件的超过一个的内表面延伸；将所述钼掩模置于所述晶圆支撑件上；将所述钼掩模置于包括氢氯酸的清洗溶液内，其中将所述钼掩模置于清洗溶液内包括将所述晶圆支撑件置于所述清洗溶液内；以及在一预定时间段后将所述钼掩模从清洗溶液移出。