硅基功率电感

摘要

一提供了用于硅基功率电感（PIiS）的多种方法和系统。在一个实施例中，PIiS包括嵌入到硅衬底中的磁性材料的磁芯，以及具有多个匝的导电线圈，其中，所述导电线圈相邻匝之间具有间隔，至少一部分磁芯被导电线圈围绕。在另一个实施例中，直流-直流转换器包括PIiS,其包括嵌入到硅衬底中的磁性材料的磁芯，具有多个匝的导电线圈，其中，至少一部分磁芯被导电线圈围绕，以及沉积于硅衬底的至少一面上的磁性材料覆盖层。直流-直流转换器还包括安装在硅基功率电感的覆盖层上的集成电路。

主权项

一种硅基功率电感，包括：嵌入硅衬底中的磁性材料的磁芯，和导电线圈，所述导电线圈具有多个匝，其邻近匝之间有间隔，并且所述磁芯至少有一部分被所述导电线圈所围绕，其中，所述导电线圈的邻近匝之间的所述间隔至少有一部分由包括混有聚合物的磁性粉末的复合材料的磁性材料填充。