浮起搬送热处理装置

摘要

提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。浮起搬送热处理装置（1）排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，该浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对振动板部赋予超声波振动；搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，该浮起搬送热处理装置具有加热区域（2）和冷却区域（3），在该加热区域中，浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在该冷却区域中，浮起搬送单元不具有加热器部。

主权项

一种浮起搬送热处理装置，该浮起搬送热处理装置排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，所述浮起搬送单元具有：振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对所述振动板部赋予超声波振动；以及搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，所述浮起搬送热处理装置的特征在于，该浮起搬送热处理装置具有加热区域和冷却区域，在所述加热区域中，所述浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在所述冷却区域中，所述浮起搬送单元不具有所述加热器部。