一种等离子体增强化学气相沉积的控制系统

摘要

本发明实施例公开了一种等离子体增强化学气相沉积的控制系统，包括：用于远程监控和数据记录查询的第一监控设备组、用于数据处理及参数配置的第二监控设备组、以太网交换机、用于控制工艺操作的第一控制设备组和用于执行工艺操作的第二控制设备组；所述第一监控设备组和所述第二监控设备组分别通过以太网交换机，与所述第一控制设备组连接，所述第一控制设备组与所述第二控制设备组连接；第二控制设备组包括用于样品传输的装载室和用于工艺操作的反应室。采用本发明，可满足实时监控工艺操作工程，执行大数据处理。

主权项

一种等离子体增强化学气相沉积的控制系统，其特征在于，包括用于远程监控和数据记录查询的第一监控设备组、用于数据处理及参数配置的第二监控设备组、以太网交换机、用于控制工艺操作的第一控制设备组和用于执行工艺操作的第二控制设备组；所述第一监控设备组和所述第二监控设备组分别通过以太网交换机，与所述第一控制设备组连接，所述第一控制设备组与所述第二控制设备组连接；其中，所述第一控制设备组包括可编程控制器组、分布式输入输出端口组和智能设备组；第二控制设备组包括用于样品传输的装载室和用于工艺操作的反应室。