板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台

摘要

本发明提供了板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其能起到有效的碳板承载输送作用，并为硅片的转送搬运提供可靠的碳板夹紧定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自动上下料的效率。其特征在于：其整体安装于板式PECVD设备的进料口侧以及碳板升降台之间，其包括支架、水平输送机构、压紧定位机构、顶升机构和定位机构，支架的安装方向与PECVD硅片进料方向垂直，水平输送机构安装于支架，压紧定位机构和定位机构分别安装于水平输送机构的纵向两端，顶升机构通过固定板安装于所述支架。

主权项

板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其特征在于：其整体安装于板式PECVD设备的进料口侧以及碳板升降台之间，其包括支架、水平输送机构、压紧定位机构、顶升机构和定位机构，所述支架的安装方向与PECVD硅片进料方向垂直，所述水平输送机构安装于所述支架，所述压紧定位机构和定位机构分别安装于所述水平输送机构的纵向两端，所述顶升机构通过固定板安装于所述支架；所述水平输送机构包括电机、传动轴、主动输送轮和从动输送轮，所述电机通过电机支架固定于输送机机架下部，所述传动轴的纵向两端通过轴承座一固定于所述输送机机架的横向支架，所述电机与所述传动轴通过同步带轮传动连接，所述传动轴的纵向两端均分别通过所述轴承座一安装有一个所述主动输送轮，两侧横向支架上通过轴承座二安装有两个所述主动输送轮与两个从动输送轮，所述主动输送轮与从动输送轮均匀、间隔分布安装于所述横向支架，单侧所述横向支架上、相邻两个所述主动输送轮之间通过传送带传动连接；所述压紧定位机构设置有两个，分别通过安装板一安装于所述输送机机架进料侧的纵向支架两端；所述安装板一下部固定有横向气动滑台一，所述横向气动滑台一通过连接板一连接竖向气动滑台一，所述竖向气动滑台一的上端固定有压紧座，所述压紧座通过导杆一连接压紧块，所述导杆一外部套装有弹簧，所述竖向气动滑台一通过纵向连接板安装有调节板一，所述调节板一的横向前端安装有定位轮一。