电子级氢氟酸取样室

摘要

本发明公开了一种电子级氢氟酸取样室，包括盒室，盒室内设置取样间，取样间的敞口处设置有遮挡外部空气进入取样间的软挡风帘，取样间上设置有进气管口，进气管口通过气管与洁净气源相连接，盒室内设置有取样输送管以及取样输送管上设置的放样阀，取样输送管的出口端设置在取样间内部，取样输送管的入口端与电子级氢氟酸生产系统中的氢氟酸输送管道相连通连接。上述方案中，取样时，通过气管向小取样间内通入洁净气体，将取样间内的空气通过挡风帘与取样间侧壁间的缝隙排净，然后打开放样阀进行取样，取样时保持取样间通洁净空气，防止整个取样过程中氢氟酸受空气污染，保证氢氟酸取样检测的准确性。

主权项

一种电子级氢氟酸取样室，其特征在于：包括一可自由打开和关闭的盒室（10），盒室（10）内设置有由隔板围成的用于电子级氢氟酸取样的取样间（11），取样间（11）的敞口处设置有遮挡外部空气进入取样间（11）的软挡风帘（12），取样间（11）上设置有进气管口，进气管口通过气管（13）与洁净气源相连接，盒室（10）内设置有取样输送管（14）以及取样输送管（14）上设置的放样阀（15），取样输送管（14）的出口端设置在取样间（11）内部，取样输送管（14）的入口端与电子级氢氟酸生产系统中的氢氟酸输送管道相连通连接。