基于彩色条纹信息处理的微结构测量系统及测量方法

摘要

一种基于彩色条纹信息处理的微结构测量系统及测量方法，系统有Zeiss光学显微镜，输入光源卤素灯，Zeiss光学显微镜的样品扫描端设置有与计算机相连的扫描机构，Zeiss光学显微镜的信号采集端依次设置有CCD彩色相机和与CCD彩色相机相连的图像采集卡，所述的图像采集卡还连接计算机。方法：对CCD彩色相机采集的一组原始图像进行拜尔反变换；得到不同扫描位置处R、G、B的光强值；计算R、G、B通道的相位信息；确定零光程差的位置；得到像素点对应的高度信息；得到不同像素点对应的高度信息，最终得到物体的表面形貌。本发明使用CCD彩色相机采集白光干涉条纹图像，可以有效的减小环境噪声的影响，提高测量精度。

主权项

一种基于彩色条纹信息处理的微结构测量系统，包括有Zeiss光学显微镜（2），其特征在于，Zeiss光学显微镜（2）的光源输入端设置有卤素灯（1），Zeiss光学显微镜（2）的样品扫描端设置有用于对样品（9）进行垂直扫描，并与计算机（8）相连的扫描机构，Zeiss光学显微镜（2）的信号采集端依次设置有CCD彩色相机（6）和与CCD彩色相机（6）相连的图像采集卡（7），所述的图像采集卡（7）还连接计算机（8）。