具有多层涂层的微流体装置

摘要

本发明提供了微流体装置，其由材料层和在该材料层之中或其上形成的具有至少一个小于500μm的特征尺寸的流体输送部件组成，所述材料层主要在耐化学性、热稳定性和生物相容性上有改善。耐化学性、热稳定性和生物相容性多层涂层提供在微流体装置上并与之接触，其中所述多层涂层包含主要由氧化铪或氧化锆构成的一个或多个薄膜层和主要由氧化钽构成的一个或多个薄膜层，所述多层涂层位于流体输送部件的表面上。本发明中使用的耐腐蚀性膜是特别有利的，因为其能够使用产生覆盖复杂几何结构的共形膜的原子层沉积膜形成法在微流体装置的流体输送部件的表面上形成，从而使耐腐蚀性膜能够在与反应物、分析物、油墨或在微流体装置中使用的其他流体接触的微流体装置的流体输送部件的所有表面上形成。

主权项

微流体装置，其包括：材料层；流体输送部件，其在所述材料层之中或其上形成，具有至少一个小于500 μm的特征尺寸；和多层涂层，其包含主要由氧化铪或氧化锆构成的一个或多个薄膜层和主要由氧化钽构成的一个或多个薄膜层，所述多层涂层位于所述流体输送部件表面上。