靶材及其形成方法

摘要

一种靶材及其形成方法，靶材的边缘具有斜角区。本发明通过对靶材边缘进行斜角处理，增加靶材边缘的附着表面积，使反溅射物质能更均匀、更平缓的附着在斜角区的斜面上，防止局部附着物过厚导致剥落，大大的减少了溅射反应器中高真空腔室内异常放电的情况。

主权项

一种靶材，包括待溅射面，其特征在于，所述靶材为钛靶材，所述靶材为8寸圆形靶材，所述靶材边缘具有斜角区，所述斜角区的宽度为13.14mm～13.40mm，所述斜角区的斜面与所述待溅射面的夹角为165±1度，所述斜角具有一个斜面；所述靶材适用的真空溅射条件为：真空腔室的压力为小于等于10^‑8Torr，对所述靶材施加的负偏压为‑600V，所述溅射气体包括氩气和氮气。