一种磷掺杂锡酸锌透明导电膜及其制备方法和应用

摘要

本发明属于发光材料领域，其公开了一种磷掺杂锡酸锌透明导电膜的制备方法，包括步骤：制备ZnO∶SnO₂∶ZnHPO₄陶瓷靶材；对镀膜设备的腔体进行真空处理；调整磁控溅射镀膜工艺参数，进行镀膜处理。本发明制备的磷掺杂锡酸锌透明导电膜，该薄膜对可见光平均透过率为75～90％，最低电阻率为5.6×10^-4Ω·cm，表面功函数5.3eV；该薄膜是制作OLED等器件的透明导电阳极的优良材料。

主权项

一种磷掺杂锡酸锌透明导电膜的制备方法，包括如下步骤：选用ZnO、SnO₂和ZnHPO₄为原材料，研磨成粉体后经高温烧结处理，制得ZnO:SnO₂:ZnHPO₄陶瓷靶材；将上述制得的ZnO:SnO₂:ZnHPO₄陶瓷靶材和衬底间隔相对地装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体中，所述真空腔体的真空度为1.0×10^‑3Pa～1.0×10^‑5Pa；调整磁控溅射镀膜工艺参数为：溅射功率为30～160W，工作压强0.2～1.5Pa，以及氩气和氢气混合工作气体的流量15～25sccm；然后进行镀膜处理，制得所述磷掺杂锡酸锌透明导电膜；所述氩气和氢气混合工作气体中，氢气所占的体积比为1‑15%；所述衬底为蓝宝石片、石英片或硅片中的任一种。