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发明名称 适用于光罩之环形夹具及附有环形夹具之光罩
摘要
申请公布号 TWM477668 申请公布日期 2014.05.01
申请号 TW102220684 申请日期 2013.11.06
申请人 南开科技大学 南投县草屯镇中正路568号 发明人 张哲玮;卓汉明;陈源丰;林清田
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 陈天赐 台中市南屯区南屯路2段290号15楼之1
主权项
地址 南投县草屯镇中正路568号
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