卧轴式激光小角度测量装置

摘要

本实用新型属于测量技术，具体公开了一种卧轴式激光小角度测量装置，包括轴系安装台和干涉镜组，轴系安装台上设有正弦臂，正弦臂上设有平面镜，正弦臂的下端设有微动机构，轴系安装台内设有卧轴轴系，干涉镜组包括偏振分光棱镜和三个反射镜，本装置能够实现对水平角小角度进行检测和校准，由于采用正弦臂并设计卧轴轴系，使得正弦臂具有独立回转中心，相关的光学部件关系相对固定，因此保证了装置的稳定性和安装的重复性，从而提高了测量装置的测量准确性，进一步，轴套分别于端盖和固定盘紧固，端盖和固定盘安装在在花岗岩平台上，保证卧轴轴系与平台安装的稳定性。

主权项

一种卧轴式激光小角度测量装置，其特征在于：它包括轴系安装台（10）和干涉镜组（6），所述的轴系安装台（10）上设有正弦臂（8），所述的正弦臂（8）上设有平面镜（11），所述正弦臂（8）的下端设有微动机构（14），所述的轴系安装台（10）内设有卧轴轴系（13）；所述的卧轴轴系（13）包括主轴（17）和轴套（19），所述的主轴（17）一端连接工作台（18），工作台（18）为圆盘状，中心加工有通孔，主轴（17）另一端连接正弦臂（8），所述轴套（19）两侧分别设有轴系端盖（20）和固定盘（22），所述的轴系端盖（20）和固定盘（22）均固定在轴系安装台（10）上；所述的干涉镜组（6）包括偏振分光棱镜（5）和三个反射镜，所述的偏振分光棱镜（5）和反射镜A（7）依次位于光入射方向，反射镜A（7）的上方反射方向上设有反射镜C（30），偏振分光棱镜（5）下方分光方向上设有反射镜B（29），在反射镜C（30）的光反射方向上设有上角隅棱镜（9），所述的反射镜B（29）的光反射方向上设有下角隅棱镜（28），所述的上角隅棱镜（9）和下角隅棱镜（28）分别安装在正弦臂（8）上下端。