抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线

摘要

本发明公开了一种抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，包括真空腔室区，所述真空腔室区包括依次排列相连通的第一预初轴腔室、第一过渡腔室、第一介质膜镀膜腔室、第二介质膜镀膜腔室、第一隔离腔室、第二隔离腔室、第一导电膜镀膜腔室、第二导电膜镀膜腔室、第二过渡腔室、第二预初轴腔室；相邻腔室之间均设置有可开启或关闭的隔离门，第一预初轴腔室入片口处设置上片升降区，第二预初轴腔室出片口处设置下片升降区；真空腔室区内部设置贯穿连续的多个基片载具传送轴，基片载具传送轴一端穿过真空腔室壁与伺服传动马达相接驱动；基片载具传送轴上对称设置有两个基片载具传动轮,靠近真空腔室区内壁两侧对称设置有基片载具导向轮。

主权项

一种抗反射导电ITO膜连续镀膜生产线，其特征在于：包括真空腔室区，所述真空腔室区包括依次排列相连通的第一预初轴腔室、第一过渡腔室、第一介质膜镀膜腔室、第二介质膜镀膜腔室、第一隔离腔室、第二隔离腔室、第一导电膜镀膜腔室、第二导电膜镀膜腔室、第二过渡腔室、第二预初轴腔室；所述第一预初轴腔室、第一过渡腔室、第一介质膜镀膜腔室、第二介质膜镀膜腔室、第一隔离腔室、第二隔离腔室、第一导电膜镀膜腔室、第二导电膜镀膜腔室、第二过渡腔室、第二预初轴腔室相邻腔室之间均设置有可开启或关闭的隔离门，所述第一预初轴腔室入片口处设置上片升降区，所述第二预初轴腔室出片口处设置下片升降区；真空腔室区内部设置贯穿连续的多个基片载具传送轴，所述基片载具传送轴一端穿过真空腔室壁与伺服传动马达相接驱动。