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发明名称 Procédé pour le traitement des supports semi-conducteurs
摘要
申请公布号 FR1399361(A) 申请公布日期 1965.05.14
申请号 FR19640979341 申请日期 1964.06.23
申请人 KABUSHIKI KAISHA HITACHI SEISAKUSHO 发明人
分类号 H01L21/00;H01L29/78 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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