发明名称 半导体受光元件及其制造方法
摘要 本发明涉及可保持机械强度,同时能充分小型化的半导体受光元件等。所述半导体受光元件具备层构造体和玻璃基板。层构造体由顺次叠层的抗反射膜、n型(第一导电型)高浓度载流子层、n型光吸收层和n型覆盖层构成。在层构造体的抗反射膜侧隔着二氧化硅膜与玻璃基板接合。玻璃基板相对于入射光为光学透明。
申请公布号 CN1846314A 申请公布日期 2006.10.11
申请号 CN200480025324.5 申请日期 2004.11.30
申请人 浜松光子学株式会社 发明人 田中章雅
分类号 H01L31/10(2006.01);H01L31/02(2006.01) 主分类号 H01L31/10(2006.01)
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 龙淳
主权项 1.一种半导体受光元件,叠层有多个化合物半导体层,其特征在于,具备:包含所述多个化合物半导体层的层构造体;设置在所述层构造体的光入射面侧的二氧化硅膜;和在所述层构造体的光入射面侧隔着所述二氧化硅膜接合、相对于入射光为光学透明的玻璃基板。
地址 日本静冈县