| 发明名称 | 收缩前形状估计方法以及CD－SEM装置 | ||
| 摘要 | 在用CD－SEM对于因电子射线照射而收缩的抗蚀剂进行测长时，为了高精度地估计收缩前的形状、尺寸，预先对于各种图案，准备包含电子射线照射前截面形状数据、各种电子射线照射条件下得到的截面形状数据群以及CD－SEM图像数据群、和基于它们的模型的收缩数据库，取得被测定抗蚀剂图案的CD－SEM图像（S102），将CD－SEM图像和收缩数据库进行比对（S103），估计被测定图案的收缩前的形状和尺寸，并输出（S104）。 | ||
| 申请公布号 | CN103733023A | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
| 申请号 | CN201280039614.X | 申请日期 | 2012.05.24 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 关口智子;大桥健良;田中润一;程朝晖;常田瑠璃子;川田洋挥;大森圣子 |
| 分类号 | G01B15/04(2006.01)I;G03F1/86(2006.01)I;H01J37/22(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01B15/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 齐秀凤 |
| 主权项 | 一种收缩前形状估计方法，是用CD－SEM对于由因电子射线照射而进行收缩的物质形成的图案的形状和尺寸进行测定时的所述图案的收缩前形状估计方法，其特征在于，包括如下步骤：准备收缩数据库的步骤，其中所述收缩数据库包含：由所述物质形成的图案的电子射线照射前截面形状数据、各种电子射线照射条件下得到的截面形状数据群、各种电子射线照射条件下得到的CD－SEM图像数据群、和使用这些数据而创建的收缩模型以及CD－SEM图像特征量与截面形状的相关模型；取得由所述物质形成的被测定图案的CD－SEM图像的步骤；使用所述CD－SEM图像和所述收缩数据库的数据来估计所述被测定图案的收缩前的形状和尺寸、并输出的步骤。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||