在具有资源共享的处理系统中用于处理基板之方法,申请号TW100112699-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	在具有资源共享的处理系统中用于处理基板之方法
摘要
申请公布号	TWI434366	申请公布日期	2014.04.11
申请号	TW100112699	申请日期	2011.04.12
申请人	应用材料股份有限公司美国	发明人	克鲁斯詹姆士Ｐ;坎特维尔德莫特;徐明;哈帝查理斯;施瓦兹班杰明;柯林斯肯尼士Ｓ;盖叶安德鲁恩;隋志峰;李伊文斯
分类号	H01L21/67	主分类号	H01L21/67
代理机构		代理人	蔡坤财台北市中山区松江路148号11楼;李世章台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址	美国

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