| 摘要 |
1. Способ соединения с применением взаимной диффузии металлов для формирования, на уровне пластин, герметичных корпусов для устройств на базе микроэлектромеханических систем (МЭМС), включающий следующие этапы:формирование на поверхности как первой пластины, так и второй пластины стопы из первого металла, подверженного окислению на воздухе;формирование на верхней поверхности каждой стопы из первого металла слоя второго металла, температура плавления у которого ниже, чем у первого металла, причем толщину слоя второго металла выбирают достаточной для предотвращения окисления верхней поверхности первого металла;приведение слоя второго металла на первой пластине в контакт со слоем второго металла на второй пластине, чтобы образовать зону соединения, иприложение к первой и второй пластинам давления соединения при температуре зоны соединения, которая ниже температуры плавления второго металла, чтобы инициировать соединение, причем давление соединения выбирают достаточным для деформирования слоев второго металла в зоне соединения.2. Способ по п.1, дополнительно включающий повышение температуры зоны соединения до температуры плавления второго металла для образования интерметаллида, который соединяет первую и вторую пластины.3. Способ по п.1, в котором первый металл является медью, а второй оловом.4. Способ по п.1, в котором, пока приложено усилие соединения, температуру зоны соединения повышают регулярным образом.5. Способ по п.1, в котором, пока приложено усилие соединения, температуру зоны соединения повышают нерегулярным образом.6. Способ по п.1, в котором, пока приложено усилие соединения, температура зоны со� |
