多晶硅还原炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产装置，特别是多晶硅还原炉，包括炉架，安装在炉架上的炉体以及安装在炉架与炉体之间的底盘，所述炉体与底盘配合构成一中空的腔室，在底盘上安装有若干电极，电极上安装有石墨件，硅芯棒位于上述腔室内且与所述石墨件连接，在底盘上还贯穿有若干进气分管和一出气管，上述的进气分管的一端口和出气管的一端口均延伸进入上述腔室，上述的进气分管的另一端口连接一个共同容纳腔，该共同容纳腔的一侧连接有进气总管。其解决了多晶硅还原炉生产中均匀、缓和的向炉体内进气的技术问题，从而有效避免因还原炉内气体分布不均而出现还原炉倒棒情况的发生，提高了企业生产多晶硅的品质和效率。

主权项

一种多晶硅还原炉，包括炉架（1），安装在炉架（1）上的炉体（2）以及安装在炉架（1）与炉体（2）之间的底盘（3），所述炉体（2）与底盘（3）配合构成一中空的腔室（4），在底盘（3）上安装有电极（5），电极（5）上安装有石墨件（6），硅芯棒（7）位于上述腔室（4）内且与所述石墨件（6）连接，在底盘（3）上还贯穿有两路以上的进气分管（8）和一出气管（11），上述的进气分管（8）的一端口和出气管（11）的一端口均延伸进入上述腔室（4），其特征在于：上述的进气分管（8）的另一端口连接一个共同容纳腔（10），该共同容纳腔（10）的一侧连接有进气总管（9）。