一种表贴石英谐振器粗漏检查方法及设备

摘要

本发明公开的表贴石英谐振器粗漏检查方法包括：a.将待测的石英谐振器加载至预检测位置；并在所述预检测位置测量大气压状态下石英谐振器的第一阻抗；b.将所述石英谐振器加载至真空室，并将所述真空室抽至预定真空度；c.测量预定真空度状态下石英谐振器的第二阻抗；d.将所述第一阻抗和第二阻抗进行比较；e.当第一阻抗和第二阻抗的差值大于或等于预定阻抗差值时，判定石英谐振器存在漏气缺陷；当第一阻抗和第二阻抗的差值小于预定阻抗差值时，判定被测石英谐振器为合格产品。本发明公开的表贴石英谐振器粗漏检查装置包括：传送单元、阻抗检测单元、抽真空单元和判别单元。本发明的表贴石英谐振器检查方法和装置实现简单，成本低廉。

主权项

一种表贴石英谐振器粗漏检查方法，其特征在于，所述方法包括：a.将待测的石英谐振器加载至预检测位置；并在所述预检测位置测量大气压状态下石英谐振器的第一阻抗；b.将所述石英谐振器加载至真空室，并将所述真空室抽至预定真空度；c.测量预定真空度状态下石英谐振器的第二阻抗；d.将所述第一阻抗和第二阻抗进行比较；e.当第一阻抗和第二阻抗的差值大于或等于预定阻抗差值时，判定石英谐振器存在漏气缺陷；当第一阻抗和第二阻抗的差值小于预定阻抗差值时，判定被测石英谐振器为合格产品,所述方法还包括以下步骤：在完成检测第一阻抗和第二阻抗时，检测石英谐振器的静态电容，当所测量的静态电容与中间静态电容值之差的绝对值大于或等于预定偏差值，判定所述检测存在接触不良，其中，所述中间静态电容值为多个抽样石英谐振器的静态电容的平均值。