一种多晶硅铸锭装置

摘要

本实用新型公开了一种能够达到快速高效监测目的的多晶硅铸锭装置。该多晶硅铸锭装置包括炉体，所述炉体内设置有下托保温板与保温罩，保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼，所述保温罩上连接有升降杆，所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台，所述炉体底部安装有溢流毯，所述溢流毯的上表面安装有溢流丝，所述下托保温板上设置有多个溢流孔，当硅液流到下托保温板后可以直接从溢流孔流到下方的溢流毯上，进而将设置在溢流毯上设置的溢流丝烧断，从而发出报警信号，及时提醒操作人员进行相关操作，能够达到快速高效的监测目的。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

一种多晶硅铸锭装置，包括炉体（1），炉体（1）上设置有抽气孔（2），所述炉体（1）内设置有下托保温板（3）与保温罩（4），保温罩（4）放置在下托保温板（3）上，保温罩（4）与下托保温板（3）共同构成保温隔热笼，所述保温罩（4）上连接有能够使保温罩（4）上下移动的升降杆（5），所述保温隔热笼内设置有坩埚（6）、坩埚护板（7）、石墨底板（8）、石墨盖板（9）、侧部加热器（10）、顶部加热器（11）、热交换平台（12），所述石墨底板（8）放置在热交换平台（12）上，坩埚（6）放置在石墨底板（8）上，坩埚护板（7）设置在坩埚（6）外侧，侧部加热器（10）设置在坩埚护板（7）的外侧，石墨盖板（9）设置在坩埚（6）上方，顶部加热器（11）设置在石墨盖板（9）上方，所述热交换平台（12）通过石墨立柱（22）固定在炉体（1）底部，坩埚护板（7）的上端设置有尾气排放孔（13），还包括进气管（14），所述进气管（14）依次穿过炉体（1）、保温罩（4）、顶部加热器（11）、石墨盖板（9）后伸入坩埚（6）内，所述炉体（1）底部安装有溢流毯（18），所述溢流毯（18）的上表面安装有溢流丝（19），其特征在于：所述下托保温板（3）上设置有多个溢流孔（20）。