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Drehtellervorrichtung für Prozesskammer mit Prozess- und Schleusenabschnitten, bestehend aus einem Hauptdrehteil mit Scheibe und Welle und vorgesehen für den Transport innerhalb der Prozesskammer zwischen den Prozess- und Schleusenabschnitten sowie für die Aufnahme von Substratträgern, wobei die über Schleusen in und aus der Prozesskammer gelangenden Substratträger mit Substraten innerhalb der Prozesskammer auf dem Drehteller gehalten sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Hauptdrehteil aus Antriebsplatte (1), -welle (2) und -rad (3) besteht, dass auf der Antriebsplatte (1) über Lager (6) ein Drehteller (4) um die Achse der Antriebswelle (2) drehbar gelagert ist, dass auf dem Drehteller (4) ein aus Sonnenrad (5), Planetenrad (8) und Hohlrad (11) bestehendes Planetengetriebe eine feste Verbindung zwischen Sonnenrad (5) und dem darunter liegenden Drehteller (4) aufweist, dass auf dem Sonnenrad (5) das Hohlrad (11) durch Lager (7) drehbar gehalten ist, dass sich im Hohlrad (11) ein Drehlager mit Achse zwischen Planetenrad (8) und dem darüber positionierten Substratteller (9) mit Substrat (10) befindet, dass das aus dem Drehteller (4) herausragende Antriebsrad (3) das Hohlrad (11) an seinem Außenrad, wo beide Mittel zum Übertrag von Drehbewegungen wie Rutschkupplung oder Zähne zeigen, berührt und dass am Drehteller (4) selbst Mittel zur lokalen Arretierung gegen Verdrehungen bestehen, sodass sich im Effekt bei drehendem Hauptdrehteil (1, 2, 3) der Drehteller (4), sofern nicht gehalten, ebenso dreht, wobei bei Substratteller (9) und Hohlrad (11) eine Eigenrotation ausbleibt, wogegen bei Festhalten des Drehtellers (4) bzw. bei einer Drehbewegung entgegen der des Hauptdrehteils (1, 2, 3) Substratteller (9) und Hohlrad (11) um die jeweils eigene Achse rotieren. |
