| 发明名称 | TM偏振石墨烯纳米带阵列传感器 | ||
| 摘要 | 一种用于红外波段的TM偏振石墨烯纳米带阵列传感器，该传感器的顶部石墨烯纳米带阵列的周期和占空比分别为245～255纳米和0.45～0.55，费米能级为0.65～0.75eV。当红外波段的TM偏振光垂直入射时，其对气体（折射率变化范围为1.0-1.05）的灵敏度高于2520nm/RIU，品质因子大于6.25，其对水环境中的低折射率材料（折射率变化范围为1.30-1.35）的灵敏度高于2920nm/RIU，品质因子大于6.27。通过采用不同的费米能级，该传感器可以同时用于探测气体和水环境中的低折射率材料。本发明由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 申请公布号 | CN103674880A | 申请公布日期 | 2014.03.26 |
| 申请号 | CN201310511928.1 | 申请日期 | 2013.10.25 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 吴俊;周常河;曹红超;李树斌 |
| 分类号 | G01N21/3504(2014.01)I;G01N21/3577(2014.01)I | 主分类号 | G01N21/3504(2014.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 一种用于红外波段的TM偏振石墨烯纳米带阵列传感器，其特征在于该传感器的顶部石墨烯纳米带阵列的周期为245～255纳米和占空比为0.45～0.55，费米能级为0.65～0.75eV。 | ||
| 地址 | 201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱 | ||