| 摘要 |
<p>본 발명은 상압 플라즈마 장치에서 플라즈마 불꽃을 발생시키고, 상기 플라즈마 불꽃을 검출 대상 표면에 주사하고, 검출 대상에 존재하는 핀홀이나 크랙을 통해 플라즈마 불꽃이 야기하는 물리적 변화를 감지하여 핀홀 또는 크랙 유무를 판별하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마를 이용한 핀홀 검출 방법을 제공한다. 상기 검출 대상으로는 전도성 기판의 코팅층, 비전도성 필름, 전도성 필름 등을 모두 포함하며, 검출 대상에 손상을 입히지 않고 상압에서 용이하게 핀홀 또는 크랙 유무를 판별할 수 있다.</p> |
