SAMPLE SHEET FOR WAFER TEST OF WAFER TEST APPARATUS

摘要

웨이퍼 검사 장비의 테스트용 시편이 개시된다. 본 발명의 실시 예에 따른 웨이퍼 검사 장비의 테스트용 시편은 하면을 형성하는 하부면, 하부면에서 함몰되어 이송 수단과 접촉하는 기준면, 상면을 형성하는 상부면, 및 상부면에서 함몰되어 검사센서의 측정부위를 형성하는 검사면을 포함하고, 기준면과 검사면은 높이 방향으로 겹쳐지지 않는다.