一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法

摘要

一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法。该方法基于原子力显微镜AFM成像技术，首先使钝化的AFM探针与扫描器上的光滑样品表面接触，通过高压驱动器驱动扫描器带动样品做X轴方向往复扫描运动，利用光电探测器同步检测AFM探针Z轴方向偏转过程，实现扫描器X轴方向运动引起扫描器Z轴方向耦合振动的微纳米尺度高分辨测量。

主权项

一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法，其特征在于，所述的测量方法基于原子力显微镜成像技术，利用钝化的原子力显微镜的探针接触样品的光滑表面，通过光电探测器检测探针Z轴方向的偏转，实现对扫描器X轴运动引起Z轴耦合振动的高分辨测量。