| 摘要 |
Un método de deflectometría para la inspección óptica de un objeto de fase y amplitud (2) colocado en uncamino óptico entre una única retícula (3) y un sistema de imágenes (4), dicho objeto de fase y amplitud (2) que estáa una distancia h de la retícula (3) en una primera posición, la retícula (3) que forma un patrón periódico basado encontraste con: las frecuencias espacialesm 0, v0, respectivamente, en los ejes ortogonales x, y en un plano deimagen, el sistema de imágenes (4) que comprende un objetivo (5) y un sensor de imágenes (6) que tiene unapluralidad de elementos fotosensibles, en donde dichas frecuencias espaciales m 0, v0 no son mayores que la mitadde las frecuencias de muestreo respectivas del sistema de imágenes (4) en dichos ejes x, y, el método quecomprende los pasos de: a) capturar, a través del objetivo (5) con el sensor de imágenes (6), una imagen (601) de dicho patrón periódicobasado en contraste distorsionado por el objeto de fase y amplitud (2); b) calcular una transformada de Fourier de dicha imagen (601) en un dominio de frecuencia espacial, dichatransformada de Fourier de dicha imagen que comprende un espectro de orden cero (701) y al menos dosespectros de primer orden o superior (702) desplazados en el dominio de frecuencia con respecto al espectro deorden cero (701) por dichas frecuencias espaciales m 0, v0 de dicho patrón periódico basado en contraste en losejes x e y en el plano de imagen; c) seleccionar al menos uno de dicho espectro de primer orden o superior (702) de dicha transformada de Fouriery desplazarlo en dicho dominio de frecuencia a fin de colocarlo sustancialmente en una frecuencia central dedicha transformada de Fourier; d) llevar a cabo una transformada inversa de Fourier de dicho al menos un espectro de primer orden o superior(702) de dicha transformada de Fourier a fin de obtener una función compleja , en donde I(x,y) es una intensidad y j (x,y) una fase enlazada a los ángulos de deflexión óptica q x,q y en, respectivamente, las direcciones de los ejes x e y, según la siguiente fórmula: j (x,y) >= -2p h(m 0 tangq x + v0tanq y); y e) desenvolver dicha fase; caracterizado porque el método además comprende los pasos de: f) repetir los pasos a) a e) para una segunda posición de la retícula (3) con respecto al objeto de fase y amplitud(2) donde la diferencia de distancia entre la primera posición y la segunda posición es D h; y g) determinar una diferencia de fase a partir de la fase determinada en cada una de las primera y segundaposiciones. |
