积体电路之电接触件及利用气体团簇离子束处理以形成该电接触件之方法,申请号TW097137279-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	积体电路之电接触件及利用气体团簇离子束处理以形成该电接触件之方法
摘要
申请公布号	TWI429021	申请公布日期	2014.03.01
申请号	TW097137279	申请日期	2008.09.26
申请人	东京威力科创股份有限公司日本	发明人	罗宾森罗德尼Ｌ;崔克特道格拉斯Ｍ
分类号	H01L21/768;H01L23/52	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人	周良谋新竹市东大路1段118号10楼;周良吉新竹市东大路1段118号10楼
主权项
地址	日本

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