切割后晶圆背膜粘性检测工具

摘要

本实用新型公开了一种切割后晶圆背膜粘性检测工具，包括：样品台通过旋钮在可移动工作台在台面上能进行移动，其采用多孔陶瓷材料制造底部中间具有真空管，真空管上安装有真空阀，实现均匀吸附样品；齿轮式可调节升降杆一端固定在台面上，另一端安装有力值测量组件，齿轮式可调节升降杆上具有多档计时旋钮；力值测量组件包括：带真空压力橡胶吸头安装于力值传感器下方，力值显示仪通过转动拨盘上通孔与力值传感器连接并固定于齿轮式可调节升降杆上，转动拨盘上具有按压式打点笔，真空管安装于带真空压力橡胶吸头上，真空管上安装有真空阀。本实用新型能有效的检测减划后晶圆背膜的粘性，对周边受影响的晶圆进行直接打点剔除。

主权项

一种切割后晶圆背膜粘性检测工具，其特征是，包括：可移动工作台（1）中间为12寸圆形凹空用于托放样品台（3），其通过旋钮（5、6、7）使可移动工作台（1）在台面（15）上能进行移动及升降；样品台（3），采用多孔陶瓷材料制造底部中间具有真空管（16），真空管（16）上安装有真空阀（8）；齿轮式可调节升降杆（2）一端固定在台面（15）上，另一端安装有力值测量组件，齿轮式可调节升降杆（2）上具有的多档计时旋钮（4）；所述力值测量组件包括：带真空压力橡胶吸头（10）安装于力值传感器（9）下方，力值显示仪（11）通过转动拨盘（12）上通孔与力值传感器（9）连接并固定于齿轮式可调节升降杆（2）上，转动拨盘（12）上具有按压式打点笔（13），真空管（17）安装于带真空压力橡胶吸头（10）上，真空管（17）上安装有真空阀（14）。